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GaN-on-Diamond 与 AI 算力时代的散热天花板:瓶颈不在金刚石,在界面

AI 机柜功率已被官方参考架构写到单柜 142 kW,而全球多数机房的机柜众数功率仍只有约 9 kW——前沿与存量之间是一个数量级的落差。液冷解决了机柜层面的热搬运,真正的天花板落在结区到冷板之间的最后一毫米:铜、SiC、AlN 的热导率量级已经到顶,金刚石高出一个数量级,但器件级收益被界面热阻(TBR)吃掉。本文用公开学术与产业数据梳理 GaN-on-diamond 的真实进展(11 W/mm @10 GHz、>3.5 倍面积功率密度、TBR 从 ~220 降到 ~3.1 m²K/GW)、单晶与多晶金刚石在近界面热导率上的分野(多晶晶粒实测 638 W/m·K vs 块体标称 >2000),并给出对材料供应商的规格含义:竞争正在从克拉与颜色,转向厚度公差、可键合表面与批次一致性。

GaN-on-Diamond2026-07 · 10 min

01结论先行:天花板已经从「拿到电」移到「最后一毫米」

先给判断:AI 算力扩张的约束正在从「拿到电」转变为「把热从最后一毫米搬出去」。NVIDIA 官方企业参考架构写明,GB300 NVL72 整柜功率上限达 142 kW,全液冷,由 8 台 33 kW 电源架(每架六只 5.5 kW PSU)供电。而 Uptime Institute 2025 年全球调查显示,超过 80% 的运营商表示自家设施没有任何超过 30 kW 的机柜,机柜众数功率仅约 9 kW(上年 8.3 kW)。前沿与存量之间的落差是一个数量级。机柜级液冷解决的是从冷板到设施的热搬运,而结温由结区到冷板之间那不足一毫米的路径决定:外延层、界面层、键合层、扩散片。结温又直接决定寿命——DARPA NJTT/ICECool 项目参与方 BAE Systems 在 CS MANTECH 公开的数据是,典型 GaN 工艺结温每降 10℃,器件寿命约提升 5 倍(活化能约 2 eV)。这就是金刚石被重新定价的原因,也是本文的核心判断:这条路线的胜负手不在金刚石本体的热导率,而在界面。

02功率密度曲线的真实形状:不是均值抬升,是分叉

公开数据里最容易被误读的一点,是把 AI 功率密度理解为整体均值上移。国际能源署《Energy and AI》给出的宏观量级是:2024 年全球数据中心用电约 415 TWh,占全球用电约 1.5%,到 2030 年基准情形约翻倍至 945 TWh(约占 3%),年均约 15%;其中加速服务器用电年均增速约 30%,贡献了净增量的近一半。但微观分布是分叉的:新建 AI 工厂按百千瓦级机柜设计并强制液冷,存量机房的众数机柜仍在 10 kW 以下,Uptime 数据中仅约八分之一的设施有 30–59 kW 的高密机柜,超过 100 kW 的机柜仍属罕见。这意味着热管理的价值不再摊薄在「平均机房」上,而是高度集中在少数极端节点。同一份 IEA 报告也提示:制冷系统在高效超大规模数据中心约占总用电 7%,在低效企业机房可超过 30%——散热效率本身就是算力经济性的一部分,而不是运维成本的尾项。

03铜、SiC、AlN 为什么到顶:量级、温度衰减与 CTE

热导率的量级差是结构性的。Micromachines 2023 年的 GaN 界面热阻综述给出的常用值是:硅约 130 W/m·K、SiC 约 490 W/m·K、金刚石 800–2000 W/m·K,而非晶氮化硅这类界面介质仅 1–1.9 W/m·K。Element Six 手册的热学分级更细:多晶热扩散级 TM100/TM150/TM180/TM200 在 300 K 分别 >1000/>1500/>1800/>2000 W/m·K,单晶 MCC 级 >1900 W/m·K。两点工程提醒常被忽略。其一是温度衰减:同一份手册里,425 K(约 152℃)时 TM180 与 TM200 都退到 >1500 W/m·K,单晶 MCC 亦为 >1500——器件设计必须按工作温度取值,把室温 2000 当设计常数会系统性乐观。其二是热膨胀:金刚石 300 K 时 CTE 约 1.0 ppm/K,与 GaN/SiC 接近但与铜差距很大,这既是它能贴近芯片的原因,也是键合应力与开裂的来源。对铜的对比可以只用公开相对口径:Akash Systems 称金刚石排热速度约为铜的 5 倍;Element Six 手册则说明,即便是更细晶粒、直径 140 mm 的自由膜多晶晶圆,热导率仍超过铜的 2.5 倍。AlN 等陶瓷封装材料则更低一个量级。

04GaN-on-Diamond 的真实进展:军用射频先跑,算力在外溢

这条路线不是概念,它已经有十年以上的可验证数据。在 DARPA 近结区热传输(NJTT)与 ICECool 计划下,BAE Systems 等在 CS MANTECH 2016 公开:GaN-on-diamond 晶体管在 10 GHz 实现高达 11 W/mm 输出功率,器件级面积功率密度相对 GaN-on-SiC 提升超过 3.5 倍(在同一 mesa 面积内放入 3 倍栅指);红外实测显示 GaN-on-diamond 峰值温度较 GaN-on-SiC 低约 7℃;配合微通道嵌入式冷却,按仿真,在研的 MMIC 在废热密度 >1 kW/cm² 条件下可把结温维持在 240℃ 以下(DARPA ICECool 在研阶段,非量产验收数据),仿真给出热阻 22.4 K·cm²/kW(1000 W/cm² 热流、2.84 L/min·cm² 面流量)。产业侧的公开路径同样清晰:Element Six 在 2017 年将 GaN-on-diamond 外延片技术转让给韩国 RFHIC;Akash Systems 由卫星射频起家,2026 年 3 月宣布与 MiTAC 合作的金刚石散热 AMD Instinct MI350X AI 服务器,其公开数据为 GPU 温度最多降 10℃、常温机房 FLOPs/W 最多再提 22%、高温机房 token 吞吐最多提升 15%,并明确表述为与现有风冷/液冷互补;Coherent 于 2026 年 1 月推出可与半导体裸芯直接键合、免热界面材料的金刚石方案。需要点明一个常被混淆的区别:当前进入 AI 服务器的多数是封装级金刚石扩散/盖板方案,而非 GaN-on-diamond 单片集成——后者仍主要在射频与国防链条上。

05单晶 vs 多晶:选型的分水岭是「近界面热导率」

多晶金刚石的优势是尺寸与成本:Element Six 手册显示自由膜多晶晶圆可做到 120 mm 直径,更细晶粒者可达 140 mm;而单晶按同一手册的常规供货规格仅到 8×8×2 mm 量级。但热管理的关键不是块体标称值,而是紧贴热源那几微米。多晶金刚石晶粒尺寸自成核侧向生长侧单调增大,成核区晶界密集、声子散射剧烈,近界面热导率显著低于块体。一个直接的实测锚点:Malakoutian 等在 2021 年 ACS Applied Materials & Interfaces 中,在 GaN 上生长 >2 µm、横向晶粒约 1.9 µm 的多晶金刚石,用瞬态热反射测得晶粒热导率为 638±48 W/m·K——仅为块体分级标称 >2000 W/m·K 的三分之一左右。这就是选型分水岭:小面积、极高热流密度、近结区(射频功放、激光、极端热点)优先单晶,近界面热导率不可妥协;大面积横向扩散、成本敏感、可接受较厚扩散层的场景,多晶更经济。而 AI 加速器盖板级需求恰好落在一个尴尬交集:既要大面积,又要可键合、低界面热阻——这正是单晶尺寸能力被重新估值的位置。

06真正的瓶颈:TBR、纳米级键合窗口、尺寸与成本

如果只记一个数字,请记住界面热阻(TBR)在总热预算中的权重。Micromachines 2023 综述指出,GaN HEMT 沟道温升中最多可有 50% 来自与衬底之间的 TBR;该综述汇总的代表值跨度极大:无中间层约 220 m²K/GW,加入约 5 nm SiN 中间层降至约 6.5–9.5 m²K/GW,而目前记录约 3.1 m²K/GW——即 Malakoutian 等 2021 年报告的 3.1±0.7 m²K/GW,金刚石生长到距沟道约 1 nm 处且不损伤沟道电学特性。键合路线的工艺窗口同样窄到反直觉:Xu 等(arXiv:2404.15738,2024)用混合 SiOx-Ar 离子源做表面活化键合,2.5 nm 中间层实现直接键合 GaN/金刚石界面的 8.3 m²K/GW,而厚度加倍到 5.3 nm,TBR 便升至 34 m²K/GW,约四倍恶化。叠加非晶氮化硅本身只有 1–1.9 W/m·K 的事实,结论很清楚:任何「涂一层胶再压上去」的思路都会把金刚石红利吃干。因此真实瓶颈是四件事——TBR 的可重复性、纳米级键合与检测能力、单晶尺寸与加工(抛光、平整度、金属化附着)、以及 CTE 不匹配带来的应力与良率。金刚石不是不够好,是界面还不够好。

07对材料供应商的含义:规格语言正在改写

如果上述判断成立,材料端的竞争维度会被改写。热管理客户的验收语言不是克拉、颜色、净度,而是厚度公差、表面粗糙度与平整度、残余应力与位错分布、金属化附着强度、可直接键合的表面态、以及批次到批次的一致性与可追溯性。Coherent 把「免热界面材料的直接键合」做成产品线,本质上就是把界面责任从客户端前移到材料端——这对供应商是一次能力门槛的抬升,而不只是订单增量。行业趋势判断(非承诺):宝石级培育钻价格持续下行,产能向工业应用迁移是理性选择,但两门生意并不等价——首饰看等级证书,热管理看过程能力证明与在线检测。若封装级金刚石在 AI 服务器上跑出可复制的 TCO 数据,需求会先落在大面积、可键合的单晶片与光学级窗口,而不是立刻转化为 GaN-on-diamond 外延片。同时也要给出反向风险:若 TBR 的量产重复性无法做到与设计值同阶,或大尺寸单晶成本下降慢于液冷/微流道等替代路径的进步,这条曲线会被推迟——这是技术判断,不是时间表。

08ENTASK 在这条链条上的位置

最后交代我们自己的坐标,只讲已确认的事实。西安英特斯克(ENTASK,2020 年 9 月成立,注册资本 2000 万元)同时是 MPCVD 设备制造商与金刚石材料生产商,设备与材料工艺的所有权都在自己手里,工艺窗口可自行调整。设备端自研 E-MG010K 微波电源(2450 MHz,10 kW/15 kW):10 kW 对应 92 mm 生长面、晶体生长高度 12 mm,15 kW 对应 120 mm 生长面;配慧视 InsightAction / 慧能 WiseAction 智能控制,腔压稳定性 ±0.005 kPa,MTBF>10000 h,满负荷连续运行超 1500 h 无故障,单次成品率≥99%,单台月产 200–300 ct,2026 年 1 月单炉纪录 856 ct。材料端热管理只做单晶不做多晶:单晶散热片热导率 1800–2500 W/m·K(公司标称区间,测量温度与方法以随货报告为准;注意 Element Six 单晶 MCC 级 300 K 标称 >1900 W/m·K、多晶最高等级 >2000 W/m·K,选型时应按工作温度取值),尺寸 20×20 至 30×30 mm;单晶光学镜片 20×20 至 45×45 mm、厚度 0.5–1.2 mm 可定制;非标毛坯可到 30×30×15 mm 与 35×35×12 mm。资质为 ISO 9001:2015,持有 CN119269411A(透明晶体 360° 应力分析仪)与 CN120178750A(半导体设备工业通信系统)两项已公开发明专利申请(国家知识产权局公开状态,非授权专利),供货范围覆盖中国大陆及印度、中东、欧美。需要说明的是:我们不做 GaN-on-diamond 器件与键合工艺;材料供应商在这条链条上能贡献的,是尺寸、一致性与工艺可调性——而这三项,恰好是上文所述瓶颈的上游前置条件。(以下 ENTASK 规格与业绩数据由公司提供,未经第三方检测机构独立验证,采购时建议现场核验原始记录)

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